A szervo-hidraulikus élhajlítók esetében a nyomőerőt a hidraulikus rendszer építi fel, a medvét viszont a gép szervomotorai viszik pozícióba. Enek köszönhetően a hibrid élhajltók ismétlési pontossága +/-0,05mm és 0,03mm között alakul, szinte a teljesen elektromos élhajlítókhoz hasonlóan. A hibrid CNC élhajlítók ennek köszönhetően jelentik a jobb választást egy hidraulikus géppel szemben - főleg kis tűrésű szériamunkák és gyengébb minőségű alapanyag esetén - nem beszélve arról, hogy a hibrid élhajlítókban kevesebb a proporcionális szelep és nagyságrendekkel kevesebb olajjal működnek.
